首页            研究内容              课题组成员            仪器设备              科研成果              研究项目             组内动态              相册              联系我们

 
 
仪器设备

   

 

Picosun R-200高级型 Atomic Layer Deposition
原子层沉积系统

　

UHVCVD

Ultra-high Vacuum Chemical Vapor Deposition
超高真空化学气相沉积系统

 

1

Magnetic Sputtering
磁控溅射系统

 

e-beam

High-resolution E-beam Evaporation
高精度电子束蒸发

 

RTP300 快速热处理设备

 　

手套箱

 

管式退火炉

 

                     去离子水制备设备

 

真空干燥箱

 

超声波清洗仪

 

                         循环水式真空泵

 

CVD

 

通风厨

 

                               恒温磁力搅拌仪

 

数显恒温水浴锅

 

75平洁净室

 

 

 

 

 

多功能泵房

　

 

 

　

Princeton Instruments SP2358微区EL、PL、反射、透射谱测试（1.1-2.6um）

 

　

PANalytical X'Pert Pro MRD

High-resolution X-ray diffraction

高分辨单晶薄膜X射线衍射

　

 

　

 

四探针测试仪

 

 

RTS-4
Four-point Probes
四探针测试仪

 

原子力显微镜

Atomic Force Microscopy
原子力显微镜

iv

Keithley 4200
IV&CV测试系统

FTIR　

Nicolet 380 智能傅立叶红外光谱仪
     

    

                               微量天平

  

        

             Keithley 2611B及2635B IV测试系统及探针台

 

 

 

金相显微镜

 

    

            Janis CCS-100/204 型低温恒温器

                      控温范围：10k-325k

 

 

线性直流稳压稳流电源

样品烘箱
 

 

首页 |  联系我们  | © 2018 厦门大学硅基光电子材料与器件课题组